1. Puresa
La puresa de l'objectiu de titani té una gran influència en les propietats de les pel·lícules sputtered. Com més gran sigui la puresa de l'objectiu, menys partícules d'elements d'impuresa a la pel·lícula sputtered i millor serà el rendiment de la pel·lícula (com ara la resistència a la corrosió, les propietats òptiques i elèctriques). En aplicacions pràctiques, els requisits de puresa dels objectius de titani per a diferents finalitats són diferents. . Per exemple, els requisits de puresa dels objectius per a recobriments decoratius generals no són exigents, mentre que els objectius per a circuits integrats, cossos de visualització i altres camps tenen requisits de puresa molt més alts, generalment al voltant del 99,999 per cent o més.
2. Mida mitjana del gra
En general, l'objectiu de titani té una estructura policristalina i la mida del gra pot variar des de micres fins a mil·límetres. La velocitat de pulverització de l'objectiu de gra fi és més ràpida que la de l'objectiu de gra gruixut. La distribució del gruix de la pel·lícula dipositada en aerosol també és relativament uniforme. La mida mitjana del gra dels objectius de titani per als circuits integrats generalment es requereix que estigui dins dels 30 μm, i la mida mitjana del gra dels objectius de titani de gra ultrafin és inferior a 10 μm.
3. Orientació cristal·lina
El titani té una estructura hexagonal molt compacta. Durant la sputtering, els àtoms diana de titani es fan fàcilment sputtering al llarg de la direcció de la disposició hexagonal dels àtoms. Per tant, per tal d'aconseguir la velocitat de pulverització més alta, és possible augmentar la velocitat de pulverització canviant l'estructura cristal·lina de l'objectiu. velocitat de pulverització. La direcció de cristal·lització de l'objectiu de titani també té una gran influència en la uniformitat del gruix de la capa de pel·lícula pulveritzada, i la mida de la pel·lícula de la pantalla plana i el recobriment decoratiu és relativament gruixuda, de manera que els requisits per a l'orientació del gra de l'objectiu de titani corresponent són relativament baix.
4. Geometria i mida
Es reflecteix principalment en la precisió del processament i la qualitat del processament, com ara la mida del processament, la planitud de la superfície, la rugositat, etc. El petit gruix afectarà la vida útil de l'objectiu; La superfície de segellat massa rugosa i la ranura de segellat provocaran problemes de buit després d'instal·lar l'objectiu; La rugositat de la superfície de l'objectiu pot fer que la superfície de l'objectiu estigui plena de puntes que sobresurten, sota l'acció de l'efecte de la punta, el potencial d'aquestes puntes elevades augmentarà considerablement, trencant així la descàrrega dielèctrica. No obstant això, una protuberància excessivament gran és perjudicial per a la qualitat i l'estabilitat de la pulverització.
La nostra empresa pot proporcionar aliatges de titani com araObjectius de titani d'aluminiiObjectiu de titani Ti, així com objectius de titani de diferent puresa i forma, i també accepten serveis personalitzats. Si cal, poseu-vos en contacte amb nosaltres per correu electrònic.
